UV-Lithographiemaschine

 

Da die Technologie ständig aktualisiert und iteriert wird, werden ihre Funktionen immer perfekter. UV-Lithographiemaschinen verschiedener Modelle, Spezifikationen und Konfigurationen können den Anforderungen verschiedener Branchen wie Halbleiterhersteller, Forschungseinrichtungen usw. gerecht werden. Mit der Entwicklung aufstrebender Industrien wie intelligente Fertigung und künstliche Intelligenz spielen UV-Lithographiemaschinen eine immer wichtigere Rolle Rolle bei der Förderung des technischen Fortschritts und der industriellen Modernisierung.

Als High-End-Fertigungsgerät bietet die UV-Lithographiemaschine die Vorteile einer präzisen Verarbeitung, einer effizienten Produktion, Stabilität und Zuverlässigkeit usw. Sie spielt eine wichtige Rolle bei der Verbesserung der industriellen Wettbewerbsfähigkeit und der Förderung der technologischen Entwicklung. Mit der kontinuierlichen Weiterentwicklung der Technologie werden UV-Lithographiemaschinen auch in Zukunft ihr enormes Potenzial ausschöpfen und zur Entwicklung der globalen High-Tech-Industrie beitragen.

 

 

1. Die Entwicklung und Herstellung der Ausrüstung nimmt viel Zeit in Anspruch und verfügt über viele Produktspezifikationen (derzeit produziert das Unternehmen regelmäßig 25 Arten von Endprodukten) und verfügt über umfangreiche Design- und Fertigungserfahrung: Unser Unternehmen hat entworfen, hergestellt und verkauft hochpräzise Fotolithografiemaschinen für sich. Es ist über 20 Jahre her.

2. Durch jahrelange kontinuierliche Verbesserung haben wir die Gerätetechnologie perfekter und den Betrieb stabiler und zuverlässiger gemacht. Einige der Mechanismen oder Systeme der Geräte stammen von unserem Unternehmen (viele ähnliche Haushaltsgeräte entsprechen nicht dem Standard oder haben fehlerhafte Funktionen). Die spezifische Leistung in den folgenden Bereichen:

(1) In Bezug auf das mechanische Ausrichtungs- und Registrierungssystem:

Die Luftschwebe-Nivelliertechnologie sorgt dafür, dass die Geräte eine hervorragende Nivellierleistung aufweisen. Es kann den schlechten Kontakt der Platte, der durch den Keilfehler der Platte verursacht wird, effektiv ausgleichen, wodurch die freigelegten Linien besser werden und die starken Kratzer auf der Platte, die durch übermäßige Nivellierkraft verursacht werden, reduziert werden. , Darüber hinaus: Der „Kontakt“, die „Trennung“ der Ausrüstung, die Drift ist extrem gering, wir haben eine Reihe von Maßnahmen, um die Drift zu reduzieren, sie sind: Die Platte bewegt sich nicht, die Platte bewegt sich, die Richtung der Kraft der X-, Y-, θ-Anpassungskomponenten und die Richtung ihres Eigengewichts konsistent; konsistent;

Die Hubbewegung der Z-Achse erfolgt über eine Kugellinearführung, die eine Presspassungsbewegung ausführt. Es gibt keine seitliche Lücke bei der Auf- und Abbewegung, wodurch ein seitliches Abdriften verhindert wird. Die Platte wird unter dem Plattenrahmen adsorbiert und wenn sie vakuumversiegelt wird, verhält sie sich nicht wie auf dem Plattenrahmen. Aufgrund des „Flächenunterschieds“, der beim Vakuumversiegeln entsteht, ist die nach oben gerichtete Kraft größer als die nach unten gerichtete Kraft, was zu einer starken Verformung der Platte und einem großen akkumulierten Abstandsfehler der Grafiken führt.

A. Die Platte wird durch Vakuumadsorption fixiert, was nicht nur das Be- und Entladen der Platte erleichtert, sondern auch sicherstellt, dass es während des Kontakts und der Trennung nicht zu seitlichen Abweichungen kommt, was nicht nur die Überlagerungsgenauigkeit verbessert, sondern auch die Überlagerungsgeschwindigkeit erheblich erhöht ;

B. Nach dem Umdrehen des Plattenrahmens erfolgt die Verbindung mit dem Maschinenkörper durch Vakuumadsorption. Wenn die Platte oben liegt, verschiebt sich der Plattenrahmen nicht seitlich.

(2) Zur Ausrichtung des Beobachtungssystems:

1,6- bis 10-fach stufenloses Zoom-Monokularmikroskop, verbunden mit einem 19-Zoll-LCD-Display über eine CCD-Kamera, mit einer Gesamtvergrößerung von 91- bis 570-fach.

(3) In Bezug auf das Belichtungssystem:

Die Lichtgleichmäßigkeit ist gut, im Bereich von Ф100 mm beträgt die Lichtungleichmäßigkeit weniger als oder gleich ±3 % und die Lebensdauer ist lang (die normale Lebensdauer der LED-Ultraviolettlichtquelle beträgt nicht weniger als 20,{{ 3 Stunden). Das Plattengestell führt eine Drehbewegung relativ zum Filmlagertisch aus: Erstens ist es praktisch, den Film ein- und auszuladen. Zweitens ist es einfach, den Film und die Platte mit Stickstoff oder einem Ohrreinigungsball zu reinigen. Der Plattenrahmen wird durch Vakuumadsorption fixiert, was nicht nur die „Abdrift“ reduziert, sondern auch die Bedienung erleichtert.

 

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